軟件系統(tǒng)可自行設(shè)定FFU風(fēng)機轉(zhuǎn)速快慢來決定風(fēng)機運轉(zhuǎn)是否正常。
測量點單純精準(zhǔn)。不會因Mini-Environment的體積大小與形狀不同，而須增加測點或是量測誤差值過大而產(chǎn)生誤判。
可與SMIF ARM訊號連結(jié)成一套完整Interlock系統(tǒng)，避免發(fā)生環(huán)境潔凈度問題后，而ARM仍可收 / 下貨與動作。
這種系統(tǒng)價格便宜。與一般風(fēng)壓或風(fēng)量偵測儀器比較更仍節(jié)省一半以上的成本。
它的應(yīng)用范圍廣泛，任何需監(jiān)控風(fēng)機功能之設(shè)備機臺皆可使用。

FFU風(fēng)機風(fēng)速的設(shè)定與調(diào)整
根據(jù)美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)潔凈室規(guī)格，Class 1~100的環(huán)境之下，風(fēng)速標(biāo)準(zhǔn)必須達到0.35~0.55 m/s。故可假設(shè)風(fēng)速低于0.35m/s時，風(fēng)機即視為異常狀態(tài)。此時可利用風(fēng)機轉(zhuǎn)速偵測器調(diào)整定義轉(zhuǎn)速異常點，再配合以風(fēng)速計確認(rèn)后，便可完成。