中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
主編部門(mén):中華人民共和國(guó)信息產(chǎn)業(yè)部
批準(zhǔn)部門(mén):中華人民共和國(guó)建設(shè)部
關(guān)于發(fā)布國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》的通知
建標(biāo)[2001]231號(hào)
根據(jù)國(guó)家計(jì)委“關(guān)于印發(fā)《一九九二年工程建設(shè)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)制訂、修訂計(jì)劃》的通知”（計(jì)綜合[1992]490號(hào)）的要求，由信息產(chǎn)業(yè)部會(huì)同有關(guān)部門(mén)共同修訂的《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》，經(jīng)有關(guān)部門(mén)會(huì)審，批準(zhǔn)為國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，編號(hào)為GB 50073-2001，自2002年1月1日起施行。其中，3.0.1、4.2.2、4.2.3、4.3.1、4.3.2（1款）、4.3.3（1、2、4、5款）、4.3.4（1款）、4.3.7、4.4.1、4.4.3、4.4.4、4.5.1、5.2.1、5.2.2、5.2.3、5.2.4、5.2.5、5.2.6、5.2.7、5.2.8、5.2.9、5.2.10、5.2.11、5.3.1、5.3.2（1、2款）、5.3.3（1、2款）、5.3.5（1款）、5.3.7（1款）、5.3.10、6.1.4、6.1.5、6.2.1、6.2.2、6.2.4、6.3.1（1、3、4款）、6.3.2、6.3.3、6.4.1（1、2、3、4款）、6.5.1、6.5.2、6.5.3、6.5.4、6.5.5、6.5.6、6.5.7、6.6.2、6.6.4、6.6.6、7.2.2、7.3.1、7.3.2、7.3.3（1、4款）、7.4.1、7.4.2、7.4.3、7.4.4、7.4.5（2款）、8.1.1、8.1.3、8.1.5、8.1.9（2、3款）、8.4.1、8.4.2、8.4.3、8.4.4、8.4.5、9.2.2、9.2.3、9.2.6（1款）、9.2.7、9.3.3、9.3.4、9.3.5、9.3.6、9.4.1、9.4.3、9.5.2、9.5.3、9.5.4、9.5.5、9.5.6、9.5.7為強(qiáng)制性條文，必須嚴(yán)格執(zhí)行。原國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》（GBJ 73-84）同時(shí)廢止。
本規(guī)范由中華人民共和國(guó)信息產(chǎn)業(yè)部負(fù)責(zé)管理，中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院負(fù)責(zé)具體解釋工作，建設(shè)部標(biāo)準(zhǔn)定額研究所組織中國(guó)計(jì)劃出版社出版發(fā)行。
中華人民共和國(guó)建設(shè)部
二○○一年十一月十三日
前言
本規(guī)范是根據(jù)建設(shè)部、計(jì)委計(jì)綜合[1992]490號(hào)和[1992]建標(biāo)字第10號(hào)文的要求，由我部負(fù)責(zé)主編。具體由中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院會(huì)同有關(guān)單位共同對(duì)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GBJ 73-84修訂而成。在修訂過(guò)程中，修訂組結(jié)合我國(guó)潔凈廠房設(shè)計(jì)建造和運(yùn)行的實(shí)際情況，進(jìn)行了廣泛的調(diào)查研究和必要的測(cè)試工作，認(rèn)真總結(jié)了《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GBJ 73-84執(zhí)行10多年來(lái)的經(jīng)驗(yàn)，等效采用國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO14644-1《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境，第一部分—空氣潔凈度等級(jí)》的潔凈度等級(jí)。廣泛征求了全國(guó)有關(guān)單位的意見(jiàn)，最后由我部會(huì)同有關(guān)部門(mén)審查定稿。
本規(guī)范共9章和4個(gè)附錄。其主要內(nèi)容有:總則、術(shù)語(yǔ)、空氣潔凈度等級(jí)、總體設(shè)計(jì)、建筑、空氣凈化、給水排水、氣體管道、電氣等。
本規(guī)范在執(zhí)行過(guò)程中，希望各行業(yè)、各單位結(jié)合工程實(shí)踐，認(rèn)真總結(jié)經(jīng)驗(yàn)，如發(fā)現(xiàn)需要修改和補(bǔ)充之處，請(qǐng)將意見(jiàn)和有關(guān)資料寄交北京市海淀區(qū)萬(wàn)壽路27號(hào)中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》管理組（郵編:100840傳真:010-68217842 E-mail:www.ceedi@ceedi.com），以供今后修訂時(shí)參考。
本規(guī)范主編單位、參編單位和主要起草人:
主編單位:中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院
參編單位:信息產(chǎn)業(yè)部第十一設(shè)計(jì)研究院 中國(guó)石油化工集團(tuán)上海醫(yī)藥工業(yè)設(shè)計(jì)院 中國(guó)建筑科學(xué)研究院
主要起草人:劉存宏 陳霖新 張利群 王唯國(guó) 繆德驊 郝錫澤 趙 海 俞渭雄 周春海 晁 陽(yáng) 賀繼行 陸 原 肖紅梅 樊勖昌 譚易和 黃德明 郭興周 冷捷敏 馮佩明
1總則
1.0.1潔凈廠房設(shè)計(jì)必須做到技術(shù)先進(jìn)、經(jīng)濟(jì)適用、安全可靠、確保質(zhì)量，并應(yīng)符合節(jié)約能源、勞動(dòng)衛(wèi)生和環(huán)境保護(hù)的要求。
1.0.2本規(guī)范適用于新建、擴(kuò)建和改建潔凈廠房的設(shè)計(jì)。
1.0.3潔凈廠房設(shè)計(jì)應(yīng)為施工安裝、維護(hù)管理、檢修測(cè)試和安全運(yùn)行創(chuàng)造必要的條件。
1.0.4潔凈廠房設(shè)計(jì)除應(yīng)按本規(guī)范執(zhí)行外，尚應(yīng)符合現(xiàn)行的有關(guān)強(qiáng)制性國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范的規(guī)定。
2術(shù)語(yǔ)
2.0.1潔凈室clean room
空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子。室內(nèi)其它有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制。
2.0.2潔凈區(qū)clean zone
空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。它的建造和使用應(yīng)減少空間內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子?？臻g內(nèi)其它有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制。潔凈區(qū)可以是開(kāi)放式或封閉式。
2.0.3移動(dòng)式潔凈小室clean booth
可整體移動(dòng)位置的小型潔凈室。有剛性或薄膜圍檔兩類。
2.0.4人身凈化用室room for cleaning human body
人員在進(jìn)入潔凈區(qū)之前按一定程序進(jìn)行凈化的房間。
2.0.5物料凈化用室room for cleaning material
物料在進(jìn)入潔凈區(qū)之前按一定程序進(jìn)行凈化的房間。
2.0.6粒徑partical size
由給定的粒子尺寸測(cè)定儀響應(yīng)當(dāng)量于被測(cè)粒子等效的球體直徑。對(duì)離散粒子計(jì)數(shù)、光散射儀器采用當(dāng)量光學(xué)直徑。
2.0.7懸浮粒子airborne particles
用于空氣潔凈度分級(jí)的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0.1～5μm的固體和液體粒子。
2.0.8超微粒子ultrafine particle
具有當(dāng)量直徑小于0.1μm的粒子。
2.0.9微粒子macroparticle
具有當(dāng)量直徑大于5μm的粒子。
2.0.10粒徑分布particle size distribution
粒子粒徑頻率分布和累積分布，是粒徑的函數(shù)。
2.0.11含塵濃度particle concentration
單位體積空氣中懸浮粒子的顆數(shù)。
2.0.12潔凈度cleanliness
以單位體積空氣某粒徑粒子的數(shù)量來(lái)區(qū)分的潔凈程度。
2.0.13氣流流型air pattern
對(duì)室內(nèi)空氣的流動(dòng)形態(tài)和分布進(jìn)行合理設(shè)計(jì)。
2.0.14單向流unidirectional airflow
沿單一方向呈平行流線并且橫斷面上風(fēng)速一致的氣流。
2.0.15垂直單向流vertical unidirectional airflow
與水平面垂直的單向流。
2.0.16水平單向流horizontal unidirectional airflow
與水平面平行的單向流。
2.0.17非單向流non-unidirectional airflow
凡不符合單向流定義的氣流。
2.0.18混合流mixed airflow
單向流和非單向流組合的氣流。
2.0.19潔凈工作區(qū)clean working area
指潔凈室內(nèi)離地面高度0.8～1.5m（除工藝特殊要求外）的區(qū)域。
2.0.20空氣吹淋室air shower
利用高速潔凈氣流吹落并清除進(jìn)入潔凈室人員表面附著粒子的小室。
2.0.21氣閘室air lock
設(shè)置在潔凈室出入口，阻隔室外或鄰室污染氣流和壓差控制而設(shè)置的緩沖間。
2.0.22傳遞窗pass box
在潔凈室隔墻上設(shè)置的傳遞物料和工器具的開(kāi)口。兩側(cè)裝有不能同時(shí)開(kāi)啟的窗扇。
2.0.23潔凈工作臺(tái)clean bench
能夠保持操作空間所需潔凈度的工作臺(tái)。
2.0.24潔凈工作服clean working garment
為把工作人員產(chǎn)生的粒子限制在最小程度所使用的發(fā)塵量少的潔凈服裝。
2.0.25空態(tài)as-built
設(shè)施已經(jīng)建成，所有動(dòng)力接通并運(yùn)行，但無(wú)生產(chǎn)設(shè)備、材料及人員。
2.0.26靜態(tài)at-rest
設(shè)施已經(jīng)建成，生產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)安裝，并按業(yè)主及供應(yīng)商同意的狀態(tài)運(yùn)行，但無(wú)生產(chǎn)人員。
2.0.27動(dòng)態(tài)operational
設(shè)施以規(guī)定的狀態(tài)運(yùn)行，有規(guī)定的人員在場(chǎng)，并在商定的狀況下進(jìn)行工作。
2.0.28檢漏試驗(yàn)leakage test
檢查空氣過(guò)濾器及其與安裝框架連接部位等的密封性試驗(yàn)。
2.0.29高效空氣過(guò)濾器HEPA（high efficiency particulate airfilter）
在額定風(fēng)量下，對(duì)粒徑大于等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9%以上及氣流阻力在250Pa以下的空氣過(guò)濾器。
2.0.30超高效空氣過(guò)濾器ULPA（ultra low penetration airfilter）
在額定風(fēng)量下，對(duì)粒徑0.1～0.2μm粒子的捕集效率在99.999%以上及氣流阻力在280Pa以下的空氣過(guò)濾器。
2.0.31純水purity water
對(duì)電解質(zhì)雜質(zhì)含量（常以電阻率表征）和非電解質(zhì)雜質(zhì)（如微粒、有機(jī)物、細(xì)菌和溶解氣體等）含量均有要求的水。
2.0.32防靜電環(huán)境ESD controlled environment
能防止靜電危害的特定環(huán)境，在這一環(huán)境中不易產(chǎn)生靜電，靜電產(chǎn)生后易于消散或消除，靜電噪聲難以傳播。
2.0.33表面電阻surface resistance
在材料的表面上兩電極間所加直流電壓與流過(guò)兩極間的穩(wěn)態(tài)電流之商。
2.0.34體積電阻volume resistance
在材料的相對(duì)兩表面上放置的兩電極間所加直流電壓與流過(guò)兩電極間的穩(wěn)態(tài)電流之商。該電流不包括沿材料表面的電流。
2.0.35表面電阻率surface resistivity
在材料表面層的直流電場(chǎng)強(qiáng)度與穩(wěn)態(tài)電流線密度之商。其量綱為Ω/□。
2.0.36體積電阻率volume resistivity
在材料內(nèi)層的直流電場(chǎng)強(qiáng)度與穩(wěn)態(tài)電流密度之商。其量綱為Ω?cm。
2.0.37專用消防口fire-firing access
消防人員為滅火而進(jìn)入建筑物的專用入口，平時(shí)封閉，使用時(shí)由消防人員從室外打開(kāi)。
2.0.38自凈時(shí)間cleanliness vecoverly characteristic
潔凈室被污染后，凈化空調(diào)系統(tǒng)開(kāi)始運(yùn)行至恢復(fù)到穩(wěn)定的規(guī)定室內(nèi)潔凈度等級(jí)的時(shí)間。
2.0.39生物潔凈室biological cleanroom
潔凈室空氣中懸浮微生物控制在規(guī)定值內(nèi)的限定空間。
2.0.40浮游菌airborne viable particles
潔凈室懸浮在空氣中的菌落。
2.0.41沉降菌colony forming unit
潔凈室降落在培養(yǎng)皿上的菌落。
3空氣潔凈度等級(jí)
3.0.1潔凈室及潔凈區(qū)內(nèi)空氣中懸浮粒子潔凈度等級(jí)應(yīng)按表3.0.1確定。
4.1潔凈廠房位置選擇和總平面布置
4.1.1潔凈廠房位置的選擇，應(yīng)根據(jù)下列要求并經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)方案比較后確定:
1應(yīng)在大氣含塵和有害氣體濃度較低、自然環(huán)境較好的區(qū)域。
2應(yīng)遠(yuǎn)離鐵路、碼頭、飛機(jī)場(chǎng)、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體的工廠、貯倉(cāng)、堆場(chǎng)等有嚴(yán)重空氣污染、振動(dòng)或噪聲干擾的區(qū)域。如不能遠(yuǎn)離嚴(yán)重空氣污染源時(shí)，則應(yīng)位于最大頻率風(fēng)向上風(fēng)側(cè)，或全年最小頻率風(fēng)向下風(fēng)側(cè)。
3應(yīng)布置在廠區(qū)內(nèi)環(huán)境清潔、人流、物流不穿越或少穿越的地段。
4.1.2對(duì)于兼有微振控制要求的潔凈廠房的位置選擇，應(yīng)實(shí)際測(cè)定周圍現(xiàn)有振源的振動(dòng)影響，并應(yīng)與精密設(shè)備、精密儀器儀表容許振動(dòng)值分析比較后確定。
4.1.3潔凈廠房與交通干道之間的距離宜大于50m。
4.1.4潔凈廠房周圍宜設(shè)置環(huán)形消防車道（可利用交通道路），如有困難，可沿廠房的兩個(gè)長(zhǎng)邊設(shè)置消防車道。
4.1.5潔凈廠房周圍的道路面層，應(yīng)選用整體性能好、發(fā)塵少的材料。
4.1.6潔凈廠房周圍應(yīng)進(jìn)行綠化?？射佒膊萜?，不應(yīng)種植對(duì)生產(chǎn)有害的植物，并不得妨礙消防作業(yè)。
4.2工藝平面布置和設(shè)計(jì)綜合協(xié)調(diào)
4.2.1工藝平面布置應(yīng)符合下列要求:
1工藝平面布置應(yīng)合理、緊湊。潔凈室或潔凈區(qū)內(nèi)只布置必要的工藝設(shè)備，以及有空氣潔凈度等級(jí)要求的工序和工作室。
2在滿足生產(chǎn)工藝和噪聲要求的前提下，空氣潔凈度等級(jí)高的潔凈室或潔凈區(qū)宜靠近空氣調(diào)節(jié)機(jī)房，空氣潔凈度等級(jí)相同的工序和工作室宜集中布置。
3潔凈室內(nèi)要求空氣潔凈度等級(jí)高的工序應(yīng)布置在上風(fēng)側(cè)，易產(chǎn)生污染的工藝設(shè)備應(yīng)布置在靠近回風(fēng)口位置。
4應(yīng)考慮大型設(shè)備安裝和維修的運(yùn)輸路線，并預(yù)留設(shè)備安裝口和檢修口。
5不同空氣潔凈度等級(jí)房間之間聯(lián)系頻繁時(shí)，宜設(shè)有防止污染的措施，如緩沖間、氣閘室、傳遞窗等。
6應(yīng)設(shè)置單獨(dú)的物料入口，物料傳遞路線應(yīng)最短，物料進(jìn)入潔凈區(qū)之前必須進(jìn)行清潔處理。
4.2.2潔凈廠房的平面和空間設(shè)計(jì)，應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級(jí)要求。潔凈區(qū)、人員凈化、物料凈化和其它輔助用房應(yīng)分區(qū)布置。同時(shí)應(yīng)考慮生產(chǎn)操作、工藝設(shè)備安裝和維修、管線布置、氣流流型以及凈化空調(diào)系統(tǒng)各種技術(shù)設(shè)施的綜合協(xié)調(diào)。
4.2.3潔凈廠房?jī)?nèi)應(yīng)少設(shè)隔間，但在下列情況下應(yīng)予分隔:
1按生產(chǎn)的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類，甲、乙類與非甲、乙類相鄰的生產(chǎn)區(qū)段之間，或有防火分隔要求者。
2生產(chǎn)聯(lián)系少，并經(jīng)常不同時(shí)使用的兩個(gè)生產(chǎn)區(qū)段之間。
4.2.4在滿足生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級(jí)要求的條件下，潔凈廠房?jī)?nèi)各種固定技術(shù)設(shè)施（如送風(fēng)口、照明器、回風(fēng)口、各種管線等）的布置，應(yīng)優(yōu)先考慮凈化空調(diào)系統(tǒng)的要求。
4.3人員凈化和物料凈化
4.3.1潔凈廠房?jī)?nèi)應(yīng)設(shè)置人員凈化、物料凈化用室和設(shè)施，并應(yīng)根據(jù)需要設(shè)置生活用室和其它用室。
4.3.2人員凈化用室和生活用室的設(shè)置應(yīng)為:
1人員凈化用室，應(yīng)包括雨具存放、換鞋、管理、存外衣、更潔凈工作服等房間。
2廁所、盥洗室、淋浴室、休息室等生活用室以及空氣吹淋室、氣閘室、工作服洗滌間和干燥間等其它用室，可根據(jù)需要設(shè)置。
4.3.3人員凈化用室和生活用室的設(shè)計(jì)，應(yīng)符合下列要求:
1人員凈化用室的入口處，應(yīng)設(shè)凈鞋措施。
2存外衣和更潔凈工作服應(yīng)分別設(shè)置。
3外衣存衣柜應(yīng)按設(shè)計(jì)人數(shù)每人設(shè)一柜，潔凈工作服宜集中掛入帶有空氣吹淋的潔凈柜內(nèi)。
4盥洗室應(yīng)設(shè)洗手和烘干設(shè)施。
5空氣吹淋室應(yīng)設(shè)在潔凈區(qū)人員入口處，并應(yīng)與潔凈工作服更衣室相鄰。單人空氣吹淋室按最大班人數(shù)每30人設(shè)一臺(tái)。潔凈區(qū)工作人員超過(guò)5人時(shí)，空氣吹淋室一側(cè)應(yīng)設(shè)旁通門(mén)。
6當(dāng)為5級(jí)以上垂直單向流潔凈室時(shí)，宜設(shè)氣閘室。
7潔凈區(qū)內(nèi)不宜設(shè)廁所。人員凈化用室內(nèi)的廁所應(yīng)設(shè)前室。
4.3.4人流路線應(yīng)符合下列要求:
1人流路線應(yīng)避免往復(fù)交叉。
2人員凈化用室和生活用室的布置，宜按圖4.3.4的人員凈化程序進(jìn)行布置。
4.3.5根據(jù)不同的空氣潔凈度等級(jí)和工作人員數(shù)量，潔凈廠房?jī)?nèi)人員凈化用室和生活用室的建筑面積應(yīng)合理確定。一般宜按潔凈區(qū)設(shè)計(jì)人數(shù)平均每人2～4m2計(jì)算。潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級(jí)宜按低于相鄰潔凈區(qū)空氣潔凈度等級(jí)1～2級(jí)設(shè)置。
4.3.6潔凈工作服洗滌室的空氣潔凈度等級(jí)不宜低于8級(jí)。
4.3.7潔凈室內(nèi)設(shè)備和物料出入口，應(yīng)根據(jù)設(shè)備和物料的性質(zhì)、形狀等特征設(shè)置物料凈化用室及其設(shè)施。物料凈化用室的布置，應(yīng)防止凈化后物料在傳遞過(guò)程中被污染。
4.4噪聲控制
4.4.1潔凈室內(nèi)的噪聲級(jí)（空態(tài)），非單向流潔凈室不應(yīng)大于60dB（A），單向流、混合流潔凈室不應(yīng)大于65dB（A）。
4.4.2潔凈室的噪聲頻譜限制，應(yīng)采用倍頻程聲壓級(jí)；各頻帶聲壓級(jí)值不宜大于表4.4.2中的規(guī)定。
4.4.3潔凈廠房的平、剖面設(shè)計(jì)應(yīng)考慮噪聲控制要求。潔凈室的圍護(hù)結(jié)構(gòu)應(yīng)具有良好的隔聲性能，并使各部分隔聲量相接近。
4.4.4潔凈室內(nèi)的各種設(shè)備均應(yīng)選用低噪聲產(chǎn)品。對(duì)于輻射噪聲值超過(guò)潔凈室允許值的設(shè)備，應(yīng)設(shè)置專用隔聲設(shè)施（如隔聲間、隔聲罩等）。
4.4.5凈化空調(diào)系統(tǒng)噪聲超過(guò)允許值時(shí)，應(yīng)采取隔聲、消聲、隔振等控制措施。潔凈室內(nèi)的排風(fēng)系統(tǒng)除事故排風(fēng)外應(yīng)進(jìn)行減噪設(shè)計(jì)。
4.4.6凈化空調(diào)系統(tǒng)，根據(jù)室內(nèi)容許噪聲級(jí)要求，風(fēng)管內(nèi)風(fēng)速宜按下列規(guī)定選用。
1總風(fēng)管為6～10m/s。
2無(wú)送、回風(fēng)口的支風(fēng)管為4～6m/s。
3有送、回風(fēng)口的支風(fēng)管為2～5m/s。
4.5微振控制
4.5.1對(duì)有微振控制要求的潔凈廠房設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)考慮:
1在結(jié)構(gòu)選型、隔振縫設(shè)置、壁板與地面及頂棚連接處，應(yīng)按微振控制要求設(shè)計(jì)。
2潔凈室與周圍輔助性站房?jī)?nèi)有強(qiáng)烈振動(dòng)的設(shè)備及其連接管道，應(yīng)采取主動(dòng)隔振措施。
3應(yīng)確定潔凈廠房?jī)?nèi)外各類振源對(duì)潔凈廠房精密設(shè)備、精密儀器儀表位置處的綜合振動(dòng)影響，以決定是否采取被動(dòng)隔振措施。
4.5.2精密設(shè)備、精密儀器儀表的容許振動(dòng)值，應(yīng)由生產(chǎn)工藝和設(shè)備制造部門(mén)提供。當(dāng)生產(chǎn)工藝和設(shè)備制造部門(mén)難以提供容許振動(dòng)值時(shí)，可參照《隔振設(shè)計(jì)規(guī)范》GBJ 22執(zhí)行。
4.5.3精密設(shè)備、精密儀器儀表的被動(dòng)隔振設(shè)計(jì)應(yīng)具備下列條件:
1周圍振源對(duì)其綜合影響的振動(dòng)數(shù)據(jù)。
2設(shè)備、儀器儀表的型號(hào)、規(guī)格及輪廓尺寸圖。
3設(shè)備、儀器儀表的質(zhì)量、質(zhì)心位置及質(zhì)量慣性矩。
4設(shè)備、儀器儀表的底座外輪廓圖、附屬裝置、管道位置及坑、溝、孔洞尺寸、地腳螺栓及預(yù)埋件位置等。
5設(shè)備、儀器儀表的調(diào)平要求。
6設(shè)備、儀器儀表的容許振動(dòng)值。
7所選用或設(shè)計(jì)的隔振器或隔振裝置的技術(shù)參數(shù)、外形尺寸及安裝條件。
4.5.4精密設(shè)備、精密儀器儀表的被動(dòng)隔振設(shè)計(jì)應(yīng)考慮:
1隔振臺(tái)座的剛度。
2設(shè)備、儀器儀表運(yùn)行時(shí)，由于質(zhì)量及質(zhì)心位置的變化引起隔振臺(tái)座傾斜的校正措施。
3隔振系統(tǒng)各向阻尼比不應(yīng)小于0.15。
4隔振措施不應(yīng)影響潔凈室內(nèi)的氣流流型。
4.5.5精密設(shè)備、精密儀器儀表的被動(dòng)隔振措施宜采用能自動(dòng)校正傾斜的空氣彈簧隔振裝置。對(duì)供應(yīng)空氣彈簧用的氣源應(yīng)進(jìn)行凈化處理。
5建筑
5.1一般規(guī)定
5.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局應(yīng)具有適當(dāng)?shù)撵`活性。主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng)，不宜采用內(nèi)墻承重體系。
5.1.2潔凈廠房圍護(hù)結(jié)構(gòu)的材料選型應(yīng)滿足保溫、隔熱、防火、防潮、少產(chǎn)塵等要求。
5.1.3潔凈廠房主體結(jié)構(gòu)的耐久性應(yīng)與室內(nèi)裝備和裝修水平相協(xié)調(diào)，并應(yīng)具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能。廠房變形縫不宜穿越潔凈區(qū)。
5.1.4送、回風(fēng)管和其它管線暗敷時(shí)，應(yīng)設(shè)置技術(shù)夾層、技術(shù)夾道或地溝等。穿越樓層的豎向管線需暗敷時(shí)，宜設(shè)置技術(shù)豎井，其形式、尺寸和構(gòu)造應(yīng)滿足風(fēng)道、管線的安裝、檢修和防火要求。
5.1.5對(duì)兼有一般生產(chǎn)和潔凈生產(chǎn)的綜合性廠房，其平面布局和構(gòu)造處理，應(yīng)避免人流、物流運(yùn)輸及防火方面對(duì)潔凈生產(chǎn)帶來(lái)不利的影響。
5.2防火和疏散
5.2.1潔凈廠房的耐火等級(jí)不應(yīng)低于二級(jí)。
5.2.2潔凈廠房?jī)?nèi)生產(chǎn)工作間的火災(zāi)危險(xiǎn)性，應(yīng)按照現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》（GBJ 16）分類。潔凈廠房生產(chǎn)工作間的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類舉例見(jiàn)附錄A。
5.2.3甲、乙類生產(chǎn)的潔凈廠房宜為單層，其防火分區(qū)最大允許建筑面積，單層廠房宜為3000m2，多層廠房宜為2000m2。丙、丁、戊類生產(chǎn)的潔凈廠房其防火分區(qū)最大允許建筑面積應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》（GBJ 16）的規(guī)定。
5.2.4潔凈室的頂棚和壁板（包括夾芯材料）應(yīng)為不燃燒體，且不得采用有機(jī)復(fù)合材料。頂棚的耐火極限不應(yīng)低于0.4h，疏散走道頂棚的耐火極限不應(yīng)低于1.0h。
5.2.5在一個(gè)防火分區(qū)內(nèi)的綜合性廠房，其潔凈生產(chǎn)與一般生產(chǎn)區(qū)域之間應(yīng)設(shè)置不燃燒體隔斷措施。隔墻及其相應(yīng)頂棚的耐火極限不應(yīng)低于1h，隔墻上的門(mén)窗耐火極限不應(yīng)低于0.6h。穿隔墻或頂棚的管線周圍空隙應(yīng)采用防火或耐火材料緊密填堵。
5.2.6技術(shù)豎井井壁應(yīng)為不燃燒體，其耐火極限不應(yīng)低于1h。井壁上檢查門(mén)的耐火極限不應(yīng)低于0.6h；豎井內(nèi)在各層或間隔一層樓板處，應(yīng)采用相當(dāng)于樓板耐火極限的不燃燒體作水平防火分隔；穿過(guò)水平防火分隔的管線周圍空隙，應(yīng)采用防火或耐火材料緊密填堵。
5.2.7潔凈廠房每一生產(chǎn)層、每一防火分區(qū)或每一潔凈區(qū)的安全出口數(shù)目不應(yīng)少于2個(gè)，但符合下列要求的可設(shè)1個(gè):
1對(duì)甲、乙類生產(chǎn)廠房每層的潔凈區(qū)總建筑面積不超過(guò)50m2，且同一時(shí)間內(nèi)的生產(chǎn)人數(shù)不超過(guò)5人。
2對(duì)丙、丁、戊類生產(chǎn)廠房，應(yīng)按現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》（GBJ 16）的規(guī)定設(shè)置。
5.2.8安全出口應(yīng)當(dāng)分散布置，從生產(chǎn)地點(diǎn)至安全出口不應(yīng)經(jīng)過(guò)曲折的人員凈化路線，并應(yīng)設(shè)有明顯的疏散標(biāo)志，安全疏散距離應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》（GBJ 16）的規(guī)定。
5.2.9潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)、潔凈區(qū)與室外相通的安全疏散門(mén)應(yīng)向疏散方向開(kāi)啟，并加閉門(mén)器。安全疏散門(mén)不應(yīng)采用吊門(mén)、轉(zhuǎn)門(mén)、側(cè)拉門(mén)、卷簾門(mén)以及電控自動(dòng)門(mén)。
5.2.10潔凈廠房與潔凈區(qū)同層外墻應(yīng)設(shè)可供消防人員通往廠房潔凈區(qū)的門(mén)窗，其洞口間距大于80m時(shí)，應(yīng)在該段外墻的適當(dāng)部位設(shè)置專用消防口。
專用消防口的寬度應(yīng)不小于750mm，高度應(yīng)不小于1800mm，并應(yīng)有明顯標(biāo)志。樓層的專用消防口應(yīng)設(shè)置陽(yáng)臺(tái)，并從二層開(kāi)始向上層架設(shè)鋼梯。
5.2.11潔凈廠房外墻上的吊門(mén)、電控自動(dòng)門(mén)以及寬度小于750mm、高度小于1800mm或裝有柵欄的窗，均不應(yīng)作為火災(zāi)發(fā)生時(shí)提供消防人員進(jìn)入廠房的入口。
5.3室內(nèi)裝修
5.3.1潔凈廠房的建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修，應(yīng)選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化時(shí)變形小的材料。
5.3.2潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的裝修應(yīng)符合下列要求:
1潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的表面應(yīng)平整、光滑、不起塵、避免眩光、便于除塵，并應(yīng)減少凹凸面。
2踢腳不應(yīng)突出墻面。
3潔凈室不宜采用砌筑墻抹灰墻面，當(dāng)必須采用時(shí)宜干燥作業(yè)，抹灰應(yīng)采用高級(jí)抹灰標(biāo)準(zhǔn)。墻面抹灰后應(yīng)刷涂料面層，并應(yīng)選用難燃、不開(kāi)裂、耐清洗、表面光滑、不易吸水變質(zhì)發(fā)霉的涂料。
5.3.3潔凈室地面設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列要求:
1潔凈室地面應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求。
2潔凈室地面應(yīng)平整，耐磨、易清洗，不易積聚靜電，避免眩光，不開(kāi)裂等。
3地面墊層宜配筋，潮濕地區(qū)墊層應(yīng)做防潮構(gòu)造。
5.3.4潔凈廠房技術(shù)夾層的墻壁和頂棚表面應(yīng)平整、光滑，位于地下的技術(shù)夾層應(yīng)采取防水或防潮、防霉措施。
5.3.5潔凈室（區(qū)）外窗設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列要求:
1當(dāng)潔凈室（區(qū)）和人員凈化用室設(shè)置外窗時(shí)，應(yīng)采用雙層玻璃固定窗，并應(yīng)有良好的氣密性。
2靠潔凈室室內(nèi)一側(cè)窗不宜設(shè)窗臺(tái)。
5.3.6潔凈室內(nèi)的密閉門(mén)應(yīng)朝空氣潔凈度較高的房間開(kāi)啟，并加設(shè)閉門(mén)器，無(wú)窗潔凈室的密閉門(mén)上宜設(shè)觀察窗。
5.3.7潔凈室門(mén)窗、墻壁、頂棚等的設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列要求:
1潔凈室門(mén)窗、墻壁、頂棚、地（樓）面的構(gòu)造和施工縫隙，均應(yīng)采取可靠的密閉措施。
2當(dāng)采用輕質(zhì)構(gòu)造頂棚做技術(shù)夾層時(shí)，夾層內(nèi)宜設(shè)檢修通道。
3潔凈室窗宜與內(nèi)墻面齊平，不宜設(shè)窗臺(tái)。
5.3.8潔凈室內(nèi)的色彩宜淡雅柔和。室內(nèi)各表面材料的光反射系數(shù):頂棚和墻面宜為0.6～0.8，地面宜為0.15～0.35。
5.3.9對(duì)8級(jí)以上的潔凈室，其墻板和頂棚宜采用輕質(zhì)壁板構(gòu)造。
5.3.10設(shè)計(jì)選用的裝修材料的燃燒性能必須符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計(jì)防火規(guī)范》（GB 50222）的規(guī)定
6空氣凈化
6.1一般規(guī)定
6.1.1潔凈廠房?jī)?nèi)各潔凈室的空氣潔凈度等級(jí)應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的潔凈要求。
6.1.2根據(jù)空氣潔凈度等級(jí)的不同要求，選用不同的氣流流型。
6.1.3下列情況之一者，其凈化空調(diào)系統(tǒng)宜分開(kāi)設(shè)置:
1運(yùn)行班次或使用時(shí)間不同。
2生產(chǎn)工藝中某工序散發(fā)的物質(zhì)或氣體對(duì)其它工序的產(chǎn)品質(zhì)量有影響。
3對(duì)溫、濕度控制要求差別大。
4凈化空調(diào)系統(tǒng)與一般空調(diào)系統(tǒng)。
6.1.4潔凈室的溫、濕度范圍應(yīng)符合表6.1.4的規(guī)定。
6.1.5潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項(xiàng)中的最大值:
1補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需新鮮空氣量之和。
2保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m3。
6.1.6潔凈區(qū)的清掃:一般情況下宜采用移動(dòng)式高效真空吸塵器；對(duì)于1級(jí)到5級(jí)的單向流潔凈室宜設(shè)置集中式真空吸塵系統(tǒng)。潔凈室內(nèi)的吸塵系統(tǒng)管道應(yīng)暗敷，吸塵口應(yīng)加蓋封堵。
6.2潔凈室壓差控制
6.2.1潔凈室與周圍的空間必須維持一定的壓差，并應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求決定維持正壓差或負(fù)壓差。
6.2.2不同等級(jí)的潔凈室以及潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差，應(yīng)不小于5Pa，潔凈區(qū)與室外的壓差，應(yīng)不小于10Pa。
6.2.3潔凈室維持不同的壓差值所需的壓差風(fēng)量，根據(jù)潔凈室特點(diǎn)，宜采用縫隙法或換氣次數(shù)法確定。
6.2.4送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉應(yīng)聯(lián)鎖。正壓潔凈室聯(lián)鎖程序?yàn)橄葐?dòng)送風(fēng)機(jī)，再啟動(dòng)回風(fēng)機(jī)和排風(fēng)機(jī)；關(guān)閉時(shí)聯(lián)鎖程序應(yīng)相反。
負(fù)壓潔凈室聯(lián)鎖程序與上述正壓潔凈室相反。
6.2.5非連續(xù)運(yùn)行的潔凈室，可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置值班送風(fēng)，并應(yīng)進(jìn)行凈化空調(diào)處理。
6.3氣流流型和送風(fēng)量
6.3.1氣流流型的設(shè)計(jì)，應(yīng)符合下列要求:
1氣流流型應(yīng)滿足空氣潔凈度等級(jí)的要求?？諝鉂崈舳鹊燃?jí)要求為1～4級(jí)時(shí)，應(yīng)采用垂直單向流；空氣潔凈度要求為5級(jí)時(shí)，應(yīng)采用垂直單向流或水平單向流。
2空氣潔凈度要求為6～9級(jí)時(shí)，宜采用非單向流。
3潔凈室工作區(qū)的氣流分布應(yīng)均勻。
4潔凈室工作區(qū)的氣流流速應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求。
6.3.2潔凈室的送風(fēng)量，應(yīng)取下列三項(xiàng)中的最大值:
1為保證空氣潔凈度等級(jí)的送風(fēng)量。
2根據(jù)熱、濕負(fù)荷計(jì)算確定的送風(fēng)量。
3向潔凈室內(nèi)供給的新鮮空氣量。
6.3.3為保證空氣潔凈度等級(jí)的送風(fēng)量，按表6.3.3中有關(guān)數(shù)據(jù)進(jìn)行計(jì)算或按室內(nèi)發(fā)塵量進(jìn)行計(jì)算。
6.3.4潔凈室內(nèi)各種設(shè)施的布置，應(yīng)考慮對(duì)氣流流型和空氣潔凈度的影響，并應(yīng)符合下列要求:
1單向流潔凈室內(nèi)不宜布置潔凈工作臺(tái)；非單向流潔凈室的回風(fēng)口宜遠(yuǎn)離潔凈工作臺(tái)。
2需排風(fēng)的工藝設(shè)備宜布置在潔凈室下風(fēng)側(cè)。
3有發(fā)熱設(shè)備時(shí)，應(yīng)采取措施減少熱氣流對(duì)氣流分布的影響。
4余壓閥宜布置在潔凈氣流的下風(fēng)側(cè)。
6.4空氣凈化處理
6.4.1空氣過(guò)濾器的選用、布置和安裝方式應(yīng)符合下列要求:
1空氣凈化處理應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級(jí)合理選用空氣過(guò)濾器。
2空氣過(guò)濾器的處理風(fēng)量應(yīng)小于或等于額定風(fēng)量。
3中效（高中效）空氣過(guò)濾器宜集中設(shè)置在空調(diào)系統(tǒng)的正壓段。
4亞高效和高效過(guò)濾器作為末端過(guò)濾器時(shí)宜設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端；超高效過(guò)濾器必須設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端。
5設(shè)置在同一潔凈區(qū)內(nèi)的高效（亞高效、超高效）空氣過(guò)濾器的阻力、效率宜相近。
6高效（亞高效、超高效）空氣過(guò)濾器安裝前應(yīng)進(jìn)行檢漏，安裝應(yīng)嚴(yán)密，安裝方式應(yīng)簡(jiǎn)便、可靠，易于檢漏和更換。
6.4.2對(duì)較大型的潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)宜集中進(jìn)行空氣凈化處理。
6.4.3凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)合理利用回風(fēng)。
6.4.4凈化空調(diào)系統(tǒng)的風(fēng)機(jī)宜采取變頻措施。
6.4.5凈化空調(diào)系統(tǒng)的電加熱器、電加濕器應(yīng)采取安全保護(hù)措施。寒冷地區(qū)的新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護(hù)措施。
6.5采暖通風(fēng)、防排煙
6.5.1對(duì)8級(jí)以上的潔凈室不應(yīng)采用散熱器采暖。
6.5.2潔凈室內(nèi)產(chǎn)生粉塵和有害氣體的工藝設(shè)備，應(yīng)設(shè)局部排風(fēng)裝置。
6.5.3在下列情況下，局部排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)單獨(dú)設(shè)置:
1排風(fēng)介質(zhì)混合后能產(chǎn)生或加劇腐蝕性、毒性、燃燒爆炸危險(xiǎn)性和發(fā)生交叉污染。
2排風(fēng)介質(zhì)中有毒與無(wú)毒，毒性相差很大。
3易燃、易爆與一般排風(fēng)。
6.5.4潔凈室的排風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)，應(yīng)采取下列措施:
1防止室外氣流倒灌。
2含有易燃、易爆局部排風(fēng)系統(tǒng)的防火防爆。
3排風(fēng)介質(zhì)中有害物濃度及排放量超過(guò)國(guó)家或地區(qū)有害物排放濃度及排放量規(guī)定時(shí)，應(yīng)進(jìn)行無(wú)害化處理。
4對(duì)含有水蒸氣和凝結(jié)性物質(zhì)的排風(fēng)系統(tǒng)，應(yīng)設(shè)坡度及排放口。
6.5.5換鞋、存外衣、盥洗、廁所和淋浴等生產(chǎn)輔助房間，應(yīng)采取通風(fēng)措施，其室內(nèi)的靜壓值，應(yīng)低于潔凈區(qū)。
6.5.6根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置事故排風(fēng)系統(tǒng)。事故排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)自動(dòng)和手動(dòng)控制開(kāi)關(guān)，手動(dòng)控制開(kāi)關(guān)應(yīng)分別設(shè)在潔凈室及潔凈室外便于操作的地點(diǎn)。
6.5.7潔凈廠房疏散走廊，應(yīng)設(shè)置機(jī)械防排煙設(shè)施。潔凈室機(jī)械防排煙系統(tǒng)宜與通風(fēng)、凈化空調(diào)系統(tǒng)合用，但必須采取可靠的防火安全措施，并應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》（GBJ 16）的要求。
6.6風(fēng)管和附件
6.6.1凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)管段應(yīng)設(shè)置電動(dòng)密閉閥、調(diào)節(jié)閥；送、回風(fēng)管段應(yīng)設(shè)置調(diào)節(jié)閥；潔凈室內(nèi)的排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置調(diào)節(jié)閥、止回閥或電動(dòng)密閉閥等。
6.6.2下列情況之一的通風(fēng)、凈化空調(diào)系統(tǒng)的風(fēng)管應(yīng)設(shè)防火閥:
1風(fēng)管穿越防火分區(qū)的隔墻處，穿越變形縫的防火隔墻的兩側(cè)。
2風(fēng)管穿越通風(fēng)、空氣調(diào)節(jié)機(jī)房的隔墻和樓板處。
3垂直風(fēng)管與每層水平風(fēng)管交接的水平管段上。
6.6.3凈化空調(diào)系統(tǒng)的風(fēng)管和調(diào)節(jié)風(fēng)閥、高效空氣過(guò)濾器的保護(hù)網(wǎng)、孔板、擴(kuò)散孔板等附件的制作材料和涂料，應(yīng)根據(jù)輸送空氣的潔凈度要求及其所處的空氣環(huán)境條件確定。
潔凈室內(nèi)排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)管和調(diào)節(jié)閥、止回閥、電動(dòng)密閉閥等附件的制作材料和涂料，應(yīng)根據(jù)排除氣體的性質(zhì)及其所處的空氣環(huán)境條件確定。
6.6.4凈化空調(diào)系統(tǒng)的送、回風(fēng)總管及排風(fēng)系統(tǒng)的吸風(fēng)總管段上，應(yīng)采取消聲措施，滿足潔凈室內(nèi)噪聲要求。
凈化空調(diào)系統(tǒng)的排風(fēng)管或局部排風(fēng)系統(tǒng)的排風(fēng)管段上，應(yīng)采取消聲措施，滿足室外環(huán)境區(qū)域噪聲標(biāo)準(zhǔn)的要求。
6.6.5在空氣過(guò)濾器的前后，應(yīng)設(shè)置測(cè)壓孔或壓差計(jì)。在新風(fēng)管、送風(fēng)、回風(fēng)總管段上，宜設(shè)置風(fēng)量測(cè)定孔。
6.6.6風(fēng)管、附件及輔助材料的選擇應(yīng)符合下列要求:
1凈化空調(diào)系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)管應(yīng)采用不燃材料。
2排除腐蝕性氣體的風(fēng)管，應(yīng)采用耐腐蝕的難燃材料。
3排煙系統(tǒng)的風(fēng)管應(yīng)采用不燃材料，其耐火極限應(yīng)大于0.5h。
4附件、保溫材料、消聲材料和粘結(jié)劑等均采用不燃材料或難燃材料。
7給水排水
7.1一般規(guī)定
7.1.1潔凈廠房?jī)?nèi)的給水排水干管應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)，也可埋地敷設(shè)。潔凈室內(nèi)管道宜暗裝，與本房間無(wú)關(guān)的管道不宜穿過(guò)。
7.1.2管道外表面可能結(jié)露時(shí)，應(yīng)采取防護(hù)措施。防結(jié)露層外表面應(yīng)光滑易于清洗，并不得對(duì)潔凈室造成污染。
7.1.3管道穿過(guò)潔凈室墻壁、樓板和頂棚時(shí)應(yīng)設(shè)套管，管道和套管之間應(yīng)采取可靠的密封措施。無(wú)法設(shè)置套管的部位也應(yīng)采取有效的密封措施。
7.2給水
7.2.1潔凈廠房?jī)?nèi)的給水系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)、生活和消防等各項(xiàng)用水對(duì)水質(zhì)、水溫、水壓和水量的要求分別設(shè)置。管道的設(shè)計(jì)應(yīng)留有余量，以適應(yīng)工藝變動(dòng)。
7.2.2水質(zhì)要求較高的純水供水管道應(yīng)采用循環(huán)供水方式，并應(yīng)符合下列規(guī)定:
1循環(huán)附加水量為使用水量的30%～100%。
2干管流速為1.5～3m/s。
3不循環(huán)的支管長(zhǎng)度應(yīng)盡量短，其長(zhǎng)度不大于6倍管徑。
4供水干管上應(yīng)設(shè)有清洗口。
5管道系統(tǒng)各組成部分必須密封，不得有滲氣現(xiàn)象。
7.2.3管材選擇應(yīng)符合下列要求:
1純水管道的管材必須滿足生產(chǎn)工藝對(duì)水質(zhì)的要求，根據(jù)需要可選擇不銹鋼管和聚氯乙烯（UPVC、CL-PVC）、聚丙烯（PP）、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯（ABS）、聚偏氟乙烯（PVDF）等管材。
2工藝設(shè)備用循環(huán)冷卻給水和回水管可采用鍍鋅鋼管、不銹鋼管或工程塑料管。
3管道配件應(yīng)采用與管道相應(yīng)的材料。
7.2.4純水和冷卻水管道應(yīng)預(yù)留清洗口。
7.2.5潔凈廠房周圍應(yīng)設(shè)置灑水設(shè)施。
7.3排水
7.3.1排水系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)工藝設(shè)備排出的廢水性質(zhì)、濃度和水量等特點(diǎn)確定。有害廢水經(jīng)廢水處理，達(dá)到國(guó)家排放標(biāo)準(zhǔn)后排出。
7.3.2潔凈室內(nèi)的排水設(shè)備以及與重力回水管道相連接的設(shè)備，必須在其排出口以下部位設(shè)水封裝置，排水系統(tǒng)應(yīng)設(shè)有完善的透氣裝置。
7.3.3潔凈室內(nèi)的地漏等排水設(shè)施的設(shè)置應(yīng)符合下列要求:
1空氣潔凈度等級(jí)高于6級(jí)的潔凈室內(nèi)不應(yīng)設(shè)地漏。
2 6級(jí)潔凈室內(nèi)不宜設(shè)地漏，如必須設(shè)置時(shí)應(yīng)采用專用地漏。
3等于或高于7級(jí)的潔凈室內(nèi)不宜設(shè)排水溝。
4等于或高于7級(jí)的潔凈室內(nèi)不應(yīng)穿過(guò)排水立管；其它潔凈室內(nèi)穿過(guò)排水立管時(shí)不應(yīng)設(shè)檢查口。
7.3.4潔凈廠房?jī)?nèi)應(yīng)采用不易積存污物、易于清洗的衛(wèi)生設(shè)備、管道、管架及其附件。
7.3.5潔凈廠房宜設(shè)置消防排水設(shè)施。
7.4消防給水和滅火設(shè)備
7.4.1潔凈廠房必須設(shè)置消防給水系統(tǒng)，其設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)的火災(zāi)危險(xiǎn)性、建筑物耐火等級(jí)以及建筑物的體積等因素確定。
7.4.2潔凈廠房的消防給水和固定滅火設(shè)備的設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》（GBJ 16）的要求。
7.4.3潔凈室的生產(chǎn)層及上下技術(shù)夾層（不含不通行的技術(shù)夾層），應(yīng)設(shè)置室內(nèi)消火栓。消火栓的用水量不小于10L/s，同時(shí)使用水槍數(shù)不少于2支，水槍充實(shí)水柱長(zhǎng)度不小于10m，每只水槍的出水量應(yīng)按不小于5L/s計(jì)算。
7.4.4潔凈廠房?jī)?nèi)各場(chǎng)所必須配置滅火器，其設(shè)計(jì)應(yīng)滿足現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑滅火器配置規(guī)范》（GBJ 140）的要求。
7.4.5潔凈廠房?jī)?nèi)設(shè)有貴重設(shè)備、儀器的房間設(shè)置固定滅火設(shè)施時(shí)，除應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》（GBJ 16）的規(guī)定外，還應(yīng)符合下列要求:
1當(dāng)設(shè)置自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)時(shí)，宜采用預(yù)作用式自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)。
2當(dāng)設(shè)置氣體滅火系統(tǒng)時(shí)，不應(yīng)采用鹵代烷1211以及能導(dǎo)致人員窒息和對(duì)保護(hù)對(duì)象產(chǎn)生二次損害的滅火劑。
8氣體管道
8.1一般規(guī)定
8.1.1氣體管道的干管，應(yīng)敷設(shè)在上、下技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)，當(dāng)與水、電管線共架時(shí)，應(yīng)設(shè)在其上部。與本房間無(wú)關(guān)的管道不應(yīng)穿過(guò)。
8.1.2潔凈室的氣體管道及管架宜設(shè)裝飾面板。當(dāng)有可燃?xì)怏w管道時(shí)，應(yīng)敷設(shè)在裝飾面板外側(cè)，水平敷設(shè)時(shí)應(yīng)在其頂部。
8.1.3高純氣體管道設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列要求:
1按氣體流量、壓力或生產(chǎn)工藝需要確定管徑，氣體管道最小管徑不小于Φ6×1mm。
2管道系統(tǒng)應(yīng)盡量短。
3不應(yīng)出現(xiàn)不易吹除的“盲管”等死角。
4管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)必要的吹除口和取樣口。
8.1.4氣體管道穿過(guò)潔凈室墻壁或樓板處的管段不應(yīng)有焊縫。管道與墻壁或樓板之間應(yīng)采取可靠的密封措施。
8.1.5可燃?xì)怏w和氧氣管道的末端或最高點(diǎn)應(yīng)設(shè)放散管。放散管引至室外應(yīng)高出屋脊1m，并應(yīng)有防雨、防雜物侵入的措施?？扇?xì)怏w還應(yīng)符合本規(guī)范第8.4.2條的要求。
8.1.6氣體凈化裝置應(yīng)根據(jù)氣源和生產(chǎn)工藝對(duì)氣體純度要求進(jìn)行選擇和配置。氣體終端凈化裝置宜設(shè)在鄰近用氣點(diǎn)處。
8.1.7氣體過(guò)濾器應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對(duì)氣體潔凈度要求進(jìn)行選擇和配置。高純氣體終端過(guò)濾器應(yīng)設(shè)在靠近用氣點(diǎn)處。
8.1.8進(jìn)入潔凈廠房的氣體管道控制閥門(mén)、過(guò)濾器、減壓裝置、壓力表、流量計(jì)、在線分析儀等，宜集中設(shè)在氣體入口室。
8.1.9甲類火災(zāi)危險(xiǎn)生產(chǎn)用氣體入口室的設(shè)置，應(yīng)符合下列規(guī)定:
1毗連布置時(shí)，宜設(shè)在單層廠房靠外墻或多層廠房的最上一層靠外墻處。
2應(yīng)有良好的通風(fēng)。
3泄壓面積和電氣防爆應(yīng)按現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》（GBJ 16）、《爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范》（GB 50058）的規(guī)定執(zhí)行。
8.2管道材料和閥門(mén)
8.2.1氣體管道材料和閥門(mén)的選用，應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝對(duì)氣體純度、露點(diǎn)的要求和使用特點(diǎn)，并按氣體性質(zhì)，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較后確定。
8.2.2高純氣體管道和閥門(mén)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求，按下列規(guī)定選用:
1氣體純度大于或等于99.999%，露點(diǎn)低于-76℃，應(yīng)采用內(nèi)壁電拋光的00Cr17Ni12Mo2Ti低碳不銹鋼管（316L）或內(nèi)壁電拋光的0Cr18Ni9不銹鋼管（304）。閥門(mén)宜采用隔膜閥或波紋管閥。
2氣體純度大于或等于99.99%，露點(diǎn)低于-60℃，應(yīng)采用內(nèi)壁電拋光的0Cr18Ni9不銹鋼管（304）。除可燃?xì)怏w管道宜采用波紋管閥外，其它氣體管道宜采用球閥。
8.2.3干燥壓縮空氣露點(diǎn)低于-70℃，應(yīng)采用內(nèi)壁拋光的0Cr18Ni9不銹鋼管（304）；露點(diǎn)低于-40℃，宜采用0Cr18Ni9不銹鋼管（304）或熱鍍鋅無(wú)縫鋼管。閥門(mén)宜采用波紋管閥或球閥。
8.2.4閥門(mén)材質(zhì)宜與相連接管道材質(zhì)相適應(yīng)。
8.3管道連接
8.3.1氣體管道連接，應(yīng)符合下列規(guī)定:
1管道連接應(yīng)采用焊接，但熱鍍鋅鋼管應(yīng)采用螺紋連接。螺紋連接的密封材料應(yīng)符合本規(guī)范第8.3.3條的要求。
2不銹鋼管應(yīng)采用氬弧焊，以對(duì)接焊或承插焊連接，但高純氣體管道宜采用內(nèi)壁無(wú)斑痕的對(duì)接焊。
8.3.2管道與設(shè)備的連接應(yīng)符合設(shè)備的連接要求。當(dāng)采用軟管連接時(shí)宜采用金屬軟管。
8.3.3管道與閥門(mén)的連接，應(yīng)符合下列規(guī)定:
1高純氣體管道與閥門(mén)連接的密封材料，按生產(chǎn)工藝和氣體特性的要求宜采用金屬墊或雙卡套。
2螺紋或法蘭連接處的密封材料應(yīng)采用聚四氟乙烯。
8.4安全技術(shù)
8.4.1下列部位應(yīng)設(shè)可燃?xì)怏w報(bào)警裝置和事故排風(fēng)裝置，報(bào)警裝置應(yīng)與相應(yīng)的事故排風(fēng)機(jī)聯(lián)鎖:
1甲類火災(zāi)危險(xiǎn)生產(chǎn)的氣體入口室。
2管廊，上、下技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)有可燃?xì)怏w管道的易積聚處。
3潔凈室內(nèi)使用可燃?xì)怏w處。
8.4.2可燃?xì)怏w管道應(yīng)設(shè)下列安全技術(shù)措施:
1接至用氣設(shè)備的支管和放散管，應(yīng)設(shè)置阻火器。
2引至室外的放散管，應(yīng)設(shè)防雷保護(hù)設(shè)施。
3應(yīng)設(shè)導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施。
8.4.3氧氣管道應(yīng)設(shè)下列安全技術(shù)措施:
1管道及其閥門(mén)、附件應(yīng)經(jīng)嚴(yán)格脫脂處理。
2應(yīng)設(shè)導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施。
8.4.4氣體管道應(yīng)按不同介質(zhì)設(shè)明顯的標(biāo)識(shí)。
8.4.5各種氣瓶庫(kù)應(yīng)集中設(shè)置在潔凈廠房外。當(dāng)日用氣量不超過(guò)1瓶時(shí)，氣瓶可設(shè)置在潔凈室內(nèi)，但必須采取不積塵和易于清潔的措施。
9電氣
9.1配電
9.1.1潔凈廠房低壓配電電壓應(yīng)采用220/380V。帶電導(dǎo)體系統(tǒng)的型式宜采用單相二線制、三相三線制、三相四線制。系統(tǒng)接地的型式宜采用TN-S或TN-C-S系統(tǒng)。
9.1.2潔凈廠房的用電負(fù)荷等級(jí)和供電要求應(yīng)根據(jù)現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《供配電系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》（GB 50052）和生產(chǎn)工藝要求確定。主要生產(chǎn)工藝設(shè)備由專用變壓器或?qū)Ｓ玫蛪吼侂娋€路供電，有特殊要求的工作電源宜設(shè)置不間斷電源（UPS）。凈化空調(diào)系統(tǒng)用電負(fù)荷、照明負(fù)荷應(yīng)由變電所專線供電。
9.1.3潔凈廠房的消防用電設(shè)備的供配電設(shè)計(jì)應(yīng)按現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》（GBJ 16）規(guī)定執(zhí)行。
9.1.4電源進(jìn)線（不包括消防用電）應(yīng)設(shè)置切斷裝置，并宜設(shè)在潔凈區(qū)外便于管理的地點(diǎn)。
9.1.5潔凈室內(nèi)的配電設(shè)備，應(yīng)選擇不易積塵、便于擦拭的小型暗裝設(shè)備，不宜設(shè)置大型落地安裝的配電設(shè)備。
9.1.6潔凈室內(nèi)的電氣管線宜暗敷，穿線導(dǎo)管應(yīng)采用不燃材料。潔凈區(qū)的電氣管線管口及安裝于墻上的各種電器設(shè)備與墻體接縫處應(yīng)有可靠的密封措施。
9.2照明
9.2.1潔凈室內(nèi)照明光源，宜采用高效熒光燈。若工藝有特殊要求或照度值達(dá)不到設(shè)計(jì)要求時(shí)，也可采用其它形式光源。
9.2.2潔凈室內(nèi)一般照明燈具為吸頂明裝。如燈具嵌入頂棚暗裝時(shí)，其安裝縫隙應(yīng)有可靠的密封措施。
潔凈室內(nèi)不應(yīng)采用格柵型燈具。
9.2.3無(wú)采光窗潔凈區(qū)工作面上的照度值，不應(yīng)低于表9.2.3規(guī)定的數(shù)值。
9.2.4無(wú)采光窗潔凈區(qū)混合照明中的一般照明，其照度值應(yīng)按各視覺(jué)等級(jí)相應(yīng)混合照度值的10%～15%確定，并不低于200lx。
9.2.5潔凈室內(nèi)一般照明的照度均勻度不應(yīng)小于0.7。
9.2.6潔凈廠房備用照明的設(shè)置應(yīng)符合下列要求:
1潔凈廠房?jī)?nèi)應(yīng)設(shè)置備用照明。
2備用照明宜作為正常照明的一部分。
3備用照明應(yīng)滿足所需場(chǎng)所或部位進(jìn)行必要活動(dòng)和操作的最低照度。
9.2.7潔凈廠房?jī)?nèi)應(yīng)設(shè)置供人員疏散用的應(yīng)急照明。在安全出口、疏散口和疏散通道轉(zhuǎn)角處應(yīng)按現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置疏散標(biāo)志。在專用消防口處應(yīng)設(shè)置紅色應(yīng)急照明燈。
9.3通信
9.3.1潔凈廠房?jī)?nèi)應(yīng)設(shè)置與廠房?jī)?nèi)外聯(lián)系的通信裝置。潔凈廠房?jī)?nèi)生產(chǎn)區(qū)與其它工段的聯(lián)系，宜設(shè)生產(chǎn)對(duì)講電話。
9.3.2潔凈廠房根據(jù)生產(chǎn)管理和生產(chǎn)工藝特殊需要，宜設(shè)置閉路電視監(jiān)視系統(tǒng)。
9.3.3潔凈廠房的生產(chǎn)區(qū)（包括技術(shù)夾層）、機(jī)房、站房等均應(yīng)設(shè)置火災(zāi)探測(cè)器。潔凈廠房生產(chǎn)區(qū)及走廊應(yīng)設(shè)置手動(dòng)火災(zāi)報(bào)警按鈕。
9.3.4潔凈廠房應(yīng)設(shè)置消防值班室或控制室，其位置不應(yīng)設(shè)在潔凈區(qū)內(nèi)。消防控制室應(yīng)設(shè)置消防專用電話總機(jī)。
9.3.5潔凈廠房的消防控制設(shè)備及線路連接應(yīng)可靠。控制設(shè)備的控制及顯示功能，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》（GBJ 16）及《火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》（GB 50116）的規(guī)定。潔凈區(qū)內(nèi)火災(zāi)報(bào)警應(yīng)進(jìn)行核實(shí)，并應(yīng)進(jìn)行如下消防聯(lián)動(dòng)控制:
1啟動(dòng)室內(nèi)消防水泵，接收其反饋信號(hào)。除自動(dòng)控制外，還應(yīng)在消防控制室設(shè)置手動(dòng)直接控制裝置。
2關(guān)閉有關(guān)部位的電動(dòng)防火閥，停止相應(yīng)的空調(diào)循環(huán)風(fēng)機(jī)、排風(fēng)機(jī)及新風(fēng)機(jī)，并接收其反饋信號(hào)。
3關(guān)閉有關(guān)部位的電動(dòng)防火門(mén)、防火卷簾門(mén)。
4控制備用應(yīng)急照明燈和疏散標(biāo)志燈燃亮。
5在消防控制室或低壓配電室，應(yīng)手動(dòng)切斷有關(guān)部位的非消防電源。
6啟動(dòng)火災(zāi)應(yīng)急擴(kuò)音機(jī)，進(jìn)行人工或自動(dòng)播音。
7控制電梯降至首層，并接收其反饋信號(hào)。
9.3.6潔凈廠房中易燃、易爆氣體的貯存、使用場(chǎng)所，管道入口室及管道閥門(mén)等易泄漏的地方，應(yīng)設(shè)可燃?xì)怏w探測(cè)器。有毒氣體的貯存、使用場(chǎng)所應(yīng)設(shè)氣體檢測(cè)器。報(bào)警信號(hào)應(yīng)聯(lián)動(dòng)啟動(dòng)或手動(dòng)啟動(dòng)相應(yīng)的事故排風(fēng)機(jī)。并應(yīng)將報(bào)警信號(hào)送至消防控制室。
9.4自動(dòng)控制
9.4.1潔凈廠房應(yīng)設(shè)置凈化空調(diào)系統(tǒng)等的自動(dòng)監(jiān)控裝置。
9.4.2潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)風(fēng)機(jī)宜選用變頻調(diào)速控制。
9.4.3凈化空調(diào)系統(tǒng)電加熱器，應(yīng)設(shè)置無(wú)風(fēng)、超溫?cái)嚯姳Ｗo(hù)。若采用電加濕器時(shí)應(yīng)設(shè)置無(wú)水保護(hù)。寒冷地區(qū)，新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護(hù)措施。
9.5靜電防護(hù)及接地
9.5.1潔凈廠房應(yīng)根據(jù)工藝生產(chǎn)要求設(shè)靜電防護(hù)措施。
9.5.2潔凈室內(nèi)的防靜電地面，其性能應(yīng)符合下列要求:
1地面的面層應(yīng)具有導(dǎo)電性能，并應(yīng)保持長(zhǎng)時(shí)間性能穩(wěn)定。
2地面的表層應(yīng)采用靜電耗散性的材料，其表面電阻率應(yīng)為1.0×105～1.0×1012Ω/□或體積電阻率為1.0×104～1.0×1011Ω?cm。
3地面應(yīng)設(shè)有導(dǎo)電泄放措施和接地構(gòu)造，其對(duì)地泄放電阻值應(yīng)為1.0×105～1.0×109Ω。
9.5.3潔凈室的凈化空調(diào)系統(tǒng)，應(yīng)采取防靜電接地措施。
9.5.4潔凈室內(nèi)可能產(chǎn)生靜電危害的設(shè)備、流動(dòng)液體、氣體或粉體管道應(yīng)采取防靜電接地措施，其中有爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)場(chǎng)所的設(shè)備、管道應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范》（GB 50058）的有關(guān)規(guī)定。
9.5.5防靜電接地系統(tǒng)，應(yīng)分別不同要求設(shè)置接地連接端子。在一個(gè)房間內(nèi)應(yīng)設(shè)置等電位的接地網(wǎng)格，或閉合的接地銅排環(huán)。銅排截面不應(yīng)小于100mm2，防靜電接地引線應(yīng)從等電位的接地網(wǎng)格或閉合銅排環(huán)上就近接地連接。接地引線應(yīng)使用多股銅線，導(dǎo)線截面不應(yīng)小于1.5mm2。
防靜電接地系統(tǒng)在接入大地前應(yīng)設(shè)置等電位的防靜電接地基準(zhǔn)板，從基準(zhǔn)板上引出接地主干線，其銅導(dǎo)體截面不應(yīng)小于95mm2，并應(yīng)采用絕緣屏蔽電纜。接地主干線應(yīng)與設(shè)置在防靜電區(qū)域內(nèi)的接地網(wǎng)格或閉合銅排環(huán)連接。在防靜電接地系統(tǒng)各個(gè)連接部位之間電阻值應(yīng)小于0.1Ω。
9.5.6潔凈廠房?jī)?nèi)不同功能的接地系統(tǒng)的設(shè)計(jì)均應(yīng)遵循等電位聯(lián)結(jié)的原則，其中直流接地系統(tǒng)不能與交流接地系統(tǒng)混接。直流工作接地的接地干線應(yīng)單獨(dú)絕緣敷設(shè)，并應(yīng)使用絕緣屏蔽電纜。直流工作接地的基準(zhǔn)電位應(yīng)取自總等位銅排，接地導(dǎo)線與銅排做單點(diǎn)連接。主干線截面不應(yīng)小于95mm2，支干線截面不應(yīng)小于35mm2。
9.5.7接地系統(tǒng)采用綜合接地方式時(shí)接地電阻值應(yīng)小于或等于1Ω；選擇分散接地方式時(shí)，各種功能接地系統(tǒng)的接地體必須遠(yuǎn)離防雷接地系統(tǒng)的接地體，兩者應(yīng)保持20m以上的間距。潔凈廠房的防雷接地系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑物防雷設(shè)計(jì)規(guī)范》（GB 50057）的規(guī)定。
附錄A潔凈廠房生產(chǎn)工作間的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類舉例
附錄B凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)對(duì)維護(hù)管理的要求
B.0.1潔凈室的凈化空氣，宜按表B.0.1規(guī)定進(jìn)行監(jiān)測(cè)。
B.0.2在下列任何一種情況下，應(yīng)更換高效空氣過(guò)濾器:
1氣流速度降到最低限度。即使更換初效、中效空氣過(guò)濾器后，氣流速度仍不能增大。
2高效空氣過(guò)濾器的阻力達(dá)到初阻力的1.5～2倍。
3高效空氣過(guò)濾器出現(xiàn)無(wú)法修補(bǔ)的滲漏。
B.0.3當(dāng)潔凈廠房?jī)?nèi)采用高效真空吸塵器進(jìn)行清掃時(shí)，必須定期檢查吸塵器排氣口的含塵濃度。
附錄C潔凈室或潔凈區(qū)性能測(cè)試和認(rèn)證
C1通則
C1.1潔凈室或潔凈區(qū)應(yīng)監(jiān)測(cè)并定期進(jìn)行性能測(cè)試，以認(rèn)證該潔凈室或潔凈區(qū)始終符合本規(guī)范的要求。
C1.2潔凈室或潔凈區(qū)性能測(cè)試認(rèn)證工作，應(yīng)由專門(mén)檢測(cè)認(rèn)證單位承擔(dān)，并提交檢測(cè)報(bào)告。
C1.3測(cè)試和認(rèn)證工作之前，系統(tǒng)應(yīng)達(dá)到穩(wěn)定運(yùn)行。測(cè)試和監(jiān)測(cè)儀表應(yīng)在標(biāo)定證書(shū)有效使用期內(nèi)。
C2潔凈室或潔凈區(qū)性能測(cè)試要求
C2.1確認(rèn)潔凈室或潔凈區(qū)符合本規(guī)范要求，應(yīng)進(jìn)行三項(xiàng)測(cè)試:
1空氣潔凈度測(cè)試（生物潔凈室應(yīng)進(jìn)行浮游菌、沉降菌測(cè)試）。
2靜壓差測(cè)試。
3風(fēng)速或風(fēng)量測(cè)試。
三項(xiàng)測(cè)試的最長(zhǎng)時(shí)間間隔分別列于表C2.1-1、C2.1-2。
C2.2本規(guī)范規(guī)定了八項(xiàng)洽商選擇的測(cè)試項(xiàng)目，列于表C2.2。
C3潔凈室測(cè)試方法
C3.1風(fēng)量或風(fēng)速測(cè)試:
1對(duì)于單向流潔凈室，采用室截面平均風(fēng)速和截面乘積的方法確定送風(fēng)量，取離高效過(guò)濾器0.3m垂直于氣流處的截面作為采樣截面，截面上測(cè)點(diǎn)間距不宜大于0.6m，測(cè)點(diǎn)數(shù)不應(yīng)少于5點(diǎn)，所有讀數(shù)的算術(shù)平均值作為平均風(fēng)速。
2對(duì)于非單向流潔凈室，采用風(fēng)口或風(fēng)管法確定送風(fēng)量，可按現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《通風(fēng)與空調(diào)工程施工及驗(yàn)收規(guī)范》（GB 50243）規(guī)定的方法執(zhí)行。
C3.2靜壓差測(cè)試:
1靜壓差的測(cè)定應(yīng)在所有的門(mén)關(guān)閉時(shí)進(jìn)行。
2儀器宜采用各種微壓計(jì)，儀表靈敏度應(yīng)小于1.0Pa。
C3.3已安裝過(guò)濾器泄漏測(cè)試:
1儀器應(yīng)使用采樣量大于1L/min的光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器。
2在過(guò)濾器上風(fēng)側(cè)引入大于等于0.1μm（0.5μm）的粒子，粒子濃度大于3.5×107pc/m3的大氣塵或其它氣溶膠，在過(guò)濾器下風(fēng)側(cè)用粒子計(jì)數(shù)器的等動(dòng)力采樣頭放在距離被檢過(guò)濾器表面2～3cm處，以5～20mm/s速度移動(dòng)，并應(yīng)注意安裝交接處的掃描。
3評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)，由受檢過(guò)濾器下風(fēng)側(cè)測(cè)得的泄漏濃度換算成穿透率，對(duì)于高效過(guò)濾器，不應(yīng)大于過(guò)濾器出廠合格穿透率的2倍，對(duì)于D級(jí)高效過(guò)濾器不應(yīng)大于出廠合格穿透率的3倍。
C3.4污染泄漏測(cè)試。有孔洞相通的不同空氣潔凈度等級(jí)相鄰的潔凈室，其洞口處應(yīng)有合理的氣流流向。用熱球風(fēng)速計(jì)檢測(cè)等級(jí)高的潔凈室至等級(jí)低的潔凈室之間的風(fēng)速，風(fēng)速應(yīng)大于0.2m/s。
C3.5潔凈度的檢測(cè):
1使用采樣量大于1L/min光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器，在儀器選用時(shí)應(yīng)考慮粒徑鑒別能力、粒子濃度適用范圍和計(jì)數(shù)效率。儀器應(yīng)有有效的標(biāo)定合格證書(shū)。
2確定采樣點(diǎn)，按下式求出最少采樣點(diǎn)數(shù):
采樣點(diǎn)應(yīng)均勻分布于潔凈室或潔凈區(qū)的整個(gè)面積內(nèi)，并位于工作區(qū)的高度（離地點(diǎn)0.8m）。
3每一采樣點(diǎn)的每次采樣量應(yīng)按下式確定:
每個(gè)采樣點(diǎn)的最小采樣時(shí)間為1min，采樣量應(yīng)至少為2L。
4當(dāng)潔凈室或潔凈區(qū)僅有一個(gè)采樣點(diǎn)時(shí)，則在該點(diǎn)應(yīng)至少采樣3次。
C4監(jiān)測(cè)
C4.1按照協(xié)議書(shū)規(guī)定進(jìn)行空氣中懸浮粒子濃度和其它參數(shù)的常規(guī)監(jiān)測(cè)，監(jiān)測(cè)的目的是證實(shí)運(yùn)行狀態(tài)下設(shè)施的性能。
C4.2協(xié)議書(shū)中應(yīng)明確:測(cè)量空氣懸浮粒子濃度最少預(yù)定的采樣點(diǎn)、每次最少的空氣采樣量、采樣時(shí)間、每個(gè)采樣點(diǎn)的測(cè)量次數(shù)、測(cè)量時(shí)間間隔、被計(jì)數(shù)粒子的粒徑，以及粒子數(shù)的限值。
C4.3監(jiān)測(cè)結(jié)果超過(guò)規(guī)定的限值，則認(rèn)定設(shè)施不符合要求，應(yīng)進(jìn)行修正，修正后再進(jìn)行認(rèn)證檢測(cè)。若監(jiān)測(cè)結(jié)果在規(guī)定限值內(nèi)，可繼續(xù)監(jiān)測(cè)。
C4.4監(jiān)測(cè)儀表應(yīng)按現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行定期標(biāo)定。
C5認(rèn)證
C5.1按協(xié)議書(shū)規(guī)定及C2的要求，按C3的方法進(jìn)行測(cè)試，若測(cè)試結(jié)果在規(guī)定的限值之內(nèi)，說(shuō)明該潔凈室符合規(guī)定要求。若測(cè)試結(jié)果超過(guò)規(guī)定的限值，說(shuō)明該潔凈室不符合要求，應(yīng)進(jìn)行改進(jìn)，在完成改進(jìn)工作之后，應(yīng)進(jìn)行再認(rèn)證。
C5.2對(duì)記錄數(shù)據(jù)評(píng)價(jià)?？諝鉂崈舳葴y(cè)試中，當(dāng)測(cè)點(diǎn)在1～10點(diǎn)時(shí)，必須計(jì)算平均中值、標(biāo)準(zhǔn)偏差、標(biāo)準(zhǔn)誤差和由全部采樣點(diǎn)的平均粒子濃度導(dǎo)出95%置信上限值；采樣點(diǎn)超過(guò)10點(diǎn)時(shí)，可用算術(shù)平均值，達(dá)到空氣潔凈度等級(jí)限值。
C5.3每次性能測(cè)試或再認(rèn)證測(cè)試應(yīng)做記錄，并提交性能合格或不合格的綜合報(bào)告。測(cè)試報(bào)告應(yīng)包括下列內(nèi)容:
1測(cè)試機(jī)構(gòu)的名稱、地址。
2測(cè)試日期和測(cè)試者簽名。
3執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)的編號(hào)及標(biāo)準(zhǔn)出版日期。
4被測(cè)試的潔凈室或潔凈區(qū)的地址、采樣點(diǎn)的特定編號(hào)及坐標(biāo)圖。
5被測(cè)潔凈室或潔凈區(qū)的空氣潔凈度等級(jí)、被測(cè)粒徑（或沉降菌、浮游菌）、被測(cè)潔凈室所處的狀態(tài)、氣流流型和靜壓差。
6測(cè)量用的儀器的編號(hào)和標(biāo)定證書(shū)；測(cè)試方法細(xì)則及測(cè)試中的特殊情況。
7測(cè)試結(jié)果包括在全部采樣點(diǎn)坐標(biāo)圖上注明所測(cè)的粒子濃度（或沉降菌、浮游菌的菌落數(shù)）。
8對(duì)異常測(cè)試值進(jìn)行說(shuō)明及數(shù)據(jù)處理。
9注明上次的測(cè)試日期。
10設(shè)施的測(cè)試文件可作為下次監(jiān)測(cè)計(jì)劃的依據(jù)。
C5.4測(cè)試機(jī)構(gòu)應(yīng)提交潔凈室檢驗(yàn)證書(shū)、再檢驗(yàn)證書(shū)。
C6記錄
C6.1記錄保存應(yīng)遵照質(zhì)量控制程序的要求。
C6.2應(yīng)按常規(guī)或定期的測(cè)試方法和儀表檢測(cè)，將初始觀察記錄、計(jì)算、數(shù)據(jù)處理和最終報(bào)告，并應(yīng)有測(cè)試評(píng)價(jià)和報(bào)告人員簽名和日期，存檔。
本規(guī)范用詞說(shuō)明
1執(zhí)行本規(guī)范條文時(shí)，對(duì)于要求嚴(yán)格程度的用詞說(shuō)明如下，以便執(zhí)行中區(qū)別對(duì)待。
（1）表示很嚴(yán)格，非這樣做不可的用詞:
正面詞采用“必須”；反面詞采用“嚴(yán)禁”。
（2）表示嚴(yán)格，在正常情況下均應(yīng)這樣做的用詞:
正面詞采用“應(yīng)”；反面詞采用“不應(yīng)”或“不得”。
（3）表示允許稍有選擇，在條件許可時(shí)首先應(yīng)這樣做的用詞:
正面詞采用“宜”；反面詞采用“不宜”。
表示有選擇，在一定條件下可以這樣做的用詞，采用“可”。
2規(guī)范中指定必須按其它有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范執(zhí)行時(shí)，寫(xiě)法為“應(yīng)按……執(zhí)行”或“應(yīng)符合……要求或規(guī)定”。
非必須按所指定的標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范執(zhí)行的寫(xiě)法為“可參照……”。
中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范
Code for design of clean room
GB 50073-2001
條文說(shuō)明
1總則
本規(guī)范是全國(guó)通用的潔凈廠房設(shè)計(jì)的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，適用于各種類型工業(yè)企業(yè)新建、擴(kuò)建和改建的潔凈廠房設(shè)計(jì)。由于各類工業(yè)企業(yè)的潔凈廠房?jī)?nèi)生產(chǎn)的產(chǎn)品及其生產(chǎn)工藝各不相同，它們對(duì)生產(chǎn)環(huán)境控制會(huì)有一些特殊要求，本規(guī)范不可能將這些要求逐一地進(jìn)行規(guī)定，因此各行業(yè)可依據(jù)本規(guī)范，按各自的特點(diǎn)制定必要的本行業(yè)的標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)定，以利于準(zhǔn)確、完整地執(zhí)行潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范的各項(xiàng)規(guī)定。
3空氣潔凈度等級(jí)
本規(guī)范修訂過(guò)程中，涉及潔凈技術(shù)的各有關(guān)單位、科技人員和專家們都強(qiáng)烈希望“規(guī)范應(yīng)與國(guó)際接軌”，為此，本規(guī)范修訂稿的第3章“空氣潔凈度等級(jí)”擬等效采用國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO 14644-1——“潔凈室及相關(guān)被控環(huán)境——第一部分，空氣潔凈度的分級(jí)”，現(xiàn)將該標(biāo)準(zhǔn)中的有關(guān)部分摘錄如下:
“3.2等級(jí)級(jí)別
空氣中懸浮粒子潔凈度以等級(jí)序數(shù)N命名。每一被考慮的粒徑D的最大允許粒子濃度按下式確定:
表1列出的空氣中懸浮粒子潔凈度等級(jí)及其相應(yīng)的大于或等于被考慮的粒徑的粒子濃度。在有爭(zhēng)議的情形下，從公式(1)得出的濃度Cn可作為標(biāo)準(zhǔn)值。
3.3命名
對(duì)潔凈室或潔凈區(qū)空氣懸浮粒子潔凈度的命名應(yīng)包括:
a等級(jí)級(jí)別，以“ISO ClassN”表示；
b分級(jí)時(shí)占用狀態(tài)；
c由分級(jí)公式(1)確定的，被考慮的粒徑(含多種尺寸)及相應(yīng)濃度，被考慮的各粒徑在0.1～5μm范圍內(nèi)。
如進(jìn)行一個(gè)以上被考慮粒徑的測(cè)量時(shí)，其較大的粒徑(如D2)至少1.5倍于下一較小粒徑(如D1)。
即: D2≥1.5D1”
